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设备开箱验收（或设备安装移交验收单），由设备管理部门纳入设备档案管理；随设备的配件、备品，潍坊单工位喷淋清洗机价格，应填写备件入库单，送交设备仓库入库保管。安全管理部门应就安装试验中的安全问题进行建档。设备移交完毕，全自动单工位喷淋清洗机价格，由设备管理部门签署设备投产通知书，并将副本分别交设备管理部门、使用单位、财务部门、生产管理部门，作为存档、通知开始使用、考核工程计划的依据。
此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越先进，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，手动单工位喷淋清洗机价格，清洗步骤约占整体步骤的33%。
单工位喷淋清洗机
其特征在于，包括底座(I)、位于所述底座(I)上方的上料箱(2)、设于所述上料箱(2)—侧的喷淋清洗装置(3)和储液槽(4)、用于夹紧待清洗的罐体的机械手、用于驱动所述机械手的驱动装置以及控制系统，其中，手动单工位喷淋清洗机价格，所述储液槽(4)内设有撇油机构，顶部安装有重力油水分离装置，侧壁可活动的连接有集油盒。根据权利要求1所述的一种单工位喷淋清洗机，其特征在于，所述上料箱(2)与所述底座(I)为一体式结构。根据权利要求2所述的一种单工位喷淋清洗机，其特征在于，所述上料箱(2)为方形的箱式结构，在所述上料箱(2)的一侧面设有气动门板，所述气动门板用于打开或闭合所述上料箱(2)。根据权利要求3所述的一种单工位喷淋清洗机，其特征在于，所述驱动装置为齿轮减速电机。根据权利要求4所述的一种单工位喷淋清洗机，其特征在于，所述喷淋清洗装置(3)包括喷淋栗、与所述喷淋栗连接的旋转接头以及与所述旋转接头连接的喷嘴。根据权利要求5所述的一种单工位喷淋清洗机，其特征在于，所述上料箱(2)内设置有清洗腔，所述清洗腔的底面倾斜预设角度，用于减少所述清洗腔内的液体残留。7.根据权利要求1-6任一所述的一种单工位喷淋清洗机，其特征在于，所述底座(I)和所述上料箱(2)均由不锈钢材料制成。
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